Номер по Госреестру СИ: 39905-10
39905-10 Измерители параметров полупроводниковых приборов
(4155С, 4156С)
Назначение средства измерений:
Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С (далее по тексту -измерители) предназначены для измерения и автоматизации контроля электрических параметров полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей, отображения на дисплее вольтамперных характеристик (ВАХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирования и заполнения отчета о полученных результатах.
Область применения измерителей - проведение работ в процессах наладки, ремонта и лабораторных исследованиях на предприятиях электронной и радиотехнической промышленности, в научно-исследовательских институтах и научно-производственных организациях.
Внешний вид.
Измерители параметров полупроводниковых приборов
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 01.04.2015
Номер записи - 127556
ID в реестре СИ - 349956
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Нет модификации, нет данных, 4156С, 4155С, 4156С,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd."
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Cправочник методик поверки составлен по данным реестра "Утверждённые типы средств измерений" ФГИС АРШИН, содержит более 28 тыс. записей и постоянно пополняется.
В качестве идентификатора методики в справочнике используется номер средства измерений в ФГИС АРШИН. Кроме данного справочника в системе "ОЕИ аналитика" присутствует справочник методик поверки, отсутствующих в ФГИС, который пополняется силами сотрудников сервиса.
Статистика
Кол-во поверок - 10
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Измерители параметров полупроводниковых приборов (4155С, 4156С)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
26410-04 01.03.2009 |
Измерители параметров многополюсников, E5070B, E5071B Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
1 год | |
|
39905-10 01.04.2015 |
Измерители параметров полупроводниковых приборов, 4155С, 4156С Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
71894-18 |
Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем, Agilent 4071А, 4072A, 4073A Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Измерители параметров полупроводниковых приборов (4155С, 4156С)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФБУ "РОСТЕСТ-МОСКВА" (RA.RU.311341) | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП "ВНИИФТРИ" (RA.RU.311478) | РСТ | 2 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФБУ «Ростест-Москва» (RA.RU.311320) | РСТ | 6 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Измерители параметров полупроводниковых приборов (4155С, 4156С)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на корпус измерителей методом трафаретной печати.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
ГОСТ 22261-94 «Средства измерения электрических и магнитных величин. Общие технические условия».
Техническая документация фирмы «Agilent Technologies», США.
Поверка
Поверку измерителей следует проводить в соответствии с документом МП-051/447-2008 «ГСП. Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва» в ноябре 2008 г.
Основное оборудование, используемое при поверке:
- мультиметр 3458А.
Межповерочный интервал - 1 год.
Государственны
центру ___
среде/ измерении!^
ОГЛАСОВАНО одитель ГЦИ СИ фального директора остест-Москва» .С. Евдокимов
г.
|
Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С |
Внесены в Государственный реестр средств измерений Регистрационный номер № Взамен № |
Выпускаются по технической документации фирмы «Agilent Technologies», США.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С (далее по тексту -измерители) предназначены для измерения и автоматизации контроля электрических параметров полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей, отображения на дисплее вольтамперных характеристик (ВАХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирования и заполнения отчета о полученных результатах.
Область применения измерителей - проведение работ в процессах наладки, ремонта и лабораторных исследованиях на предприятиях электронной и радиотехнической промышленности, в научно-исследовательских институтах и научно-производственных организациях.
Принцип работы измерителей основан на измерении значений тока (напряжения) на электродах тестируемого полупроводникового прибора при формировании на них последовательности значений напряжения или тока. Формируемая величина рассматривается в качестве аргумента, а измеряемая величина - в качестве функции измеренной ВАХ в координатах напряжение-ток или ток-напряжение. ВАХ служит основой для определения или расчета интересующих параметров тестируемого полупроводникового прибора. Графическое отображение ВАХ формируется путем линейной аппроксимации ее значений в промежутках между измеренными точками.
При наличии у тестируемого полупроводникового прибора управляющего (база, затвор) и/или вспомогательного (подложка) электродов, прибор обеспечивает измерение семейства ВАХ по значениям одного или двух параметров, каждый из которых может быть задан в виде последовательности значений токов или напряжений формируемых на электродах тестируемого полупроводникового прибора.
В состав измерителей параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С могут входить следующие блоки, расширяющие функциональные возможности измерителей:
-
- блок расширения 41501В, предназначенный для расширения функциональных возможностей измерителей путем добавления дополнительных каналов источника/измерителя; модулей генераторов импульсов или их комбинации, а также модуля заземления;
-
- блоки коммутации Е5250А, В2200А, В2201А, предназначенные для расширения функциональных возможностей измерителей путем увеличения количества измерительных каналов, а также подключения внешних генераторов импульсов, измерителей параметров иммитанса и других приборов.
Отличие измерителей параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С заключается в различных функциональных возможностях и технических характеристиках.
Таблица 6 - Комплектность измерителей
|
Наименование |
Количество |
|
Комплектующие изделия, входящие в состав стандартной поставки | |
|
Измеритель 4155С (4156С) |
1 шт. |
|
Комплект запасных частей и принадлежностей |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
|
Методика поверки |
1 экз. |
|
Комплектующие изделия, поставляемые по заказу | |
|
Блок расширения 41501В |
1 шт. |
|
Блок коммутации Е5250А |
1 шт. |
|
Блок коммутации В2200А |
1 шт. |
|
Блок коммутации В2201А |
1 шт. |
Таблица 1 - Конфигурация измерителей
|
Описание встраиваемых модулей |
Количество модулей |
Диапазоны измерения/ воспроизведения | |
|
4155С |
4156С | ||
|
Модуль источника/измерителя средней мощности (MPSMU) |
4 |
- |
2 мкВ - 100 В 10 фА-100 мА |
|
Модуль источника/измерителя с высоким разрешением (HRSMU) |
- |
4 |
2 мкВ - 100 В 1 фА-I А |
|
Модуль источника напряжения (VSU) |
2 |
2 |
1 мВ-20 В |
|
Модуль измерителя напряжения (VMU) |
2 |
2 |
2 мкВ - 20 В |
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения напряжения постоянного тока
|
Модуль |
Пределы измерений |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения |
|
MPSMU |
±2В |
2 мкВ |
± (0,02 х 10'2х UH3M + 0,7 мВ) |
|
±20 В |
20 мкВ |
± (0,02 х 10'2х Uh3M.+ 2 мВ) | |
|
±40 В |
40 мкВ |
± (0,02 х 10 2х иизм + 3 мВ) | |
|
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,02 х 10 2х иизм+ 5 мВ) | |
|
HRSMU |
±2В |
2 мкВ |
± (0,01 х 10 2х UH3M.+ 0,2 мВ) |
|
±20 В |
20 мкВ |
± (0,01 х 10 2х иизм.+ 1 мВ) | |
|
±40 В |
40 мкВ |
± (0,015x10'2х иизм.+ 2 мВ) | |
|
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,02 х 10'2х иизм.+ 5 мВ) | |
|
VMU |
±2В |
2 мкВ |
± (0,02 х 10’2х иизм.+ 0,2 мВ) |
|
±20 В |
20 мкВ |
± (0,02 х 10 2х UmM + 1 мВ) |
Примечание - иИЗм. - измеренное значение напряжения постоянного тока.
Таблица 3 - Основные метрологические характеристики модулей в режиме источника напряжения постоянного тока
|
Модуль |
Пределы воспроизведения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения |
|
MPSMU |
±2В |
100 мкВ |
± (0,03 х 10'2х иВоспр.+ 0,9 мВ) |
|
±20 В |
1 мВ |
± (0,03 х 10'2х UBocnp.+ 4 мВ) | |
|
±40 В |
2 мВ |
± (0,03 х 10 2х ивоспр.± 7 мВ) | |
|
± 100 В |
5 мВ |
± (0,04 х 10'2х ивОспр.+ 15 мВ) | |
|
HRSMU |
±2В |
100 мкВ |
± (0,02 х 10 2х ив0Спр.+ 0,4 мВ) |
|
±20 В |
1 мВ |
± (0,02 х 10 2х ивоспр.+ 3 мВ) | |
|
±40 В |
2 мВ |
± (0,025 х 10'2х ив0Спр.+ 6 мВ) | |
|
± 100 В |
5 мВ |
± (0,03 х 10 2х ивОспр.+ 15 мВ) | |
|
VSU |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,02 х 10’2х UB0Cnp.+ 1 мВ) |
Примечание - UBOcnp. - воспроизведенное значение напряжения постоянного тока.
Таблица 4 - Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения силы постоянного тока
|
Модуль |
Пределы измерений |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения |
|
MPSMU |
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х Ю’2х 1изм.+ 3 пА) |
|
± 10 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10’2х1изм+ 5 пА) | |
|
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,1 х 10 2х 1изм + 30 пА) |
Продолжение таблицы 4
|
Модуль |
Пределы измерений |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения |
|
MPSMU |
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,1 х 10'2х 1изм + 0,2 нА) |
|
± 10 мкА |
0,01 нА |
± (0,1 х 10'2х 1^.+ 3 нА) | |
|
±100 мкА |
0,1 нА |
± (0,1 х 10’2х 1изм + 20 нА) | |
|
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,1 х 10'2х1изм + 0,3 мкА) | |
|
± 10 мА |
0,01 мкА |
± (0,1 х 10'2х 1изм + 2 мкА) | |
|
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,1 х 10’2х 1нзм + 30 мкА) | |
|
HRSMU |
± 10 пА |
0,001 пА |
± (4 х 10’2х 1изм.+ 0,02 пА) |
|
± 100 пА |
0,001 пА |
± (4 х 10’2х1изм + 0,04 пА) | |
|
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10’2х 1изм + 0,4 пА) | |
|
±10 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10’2х1изм + 2 пА) | |
|
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,1 х 10’2х 1изм + 20 пА) | |
|
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,1 х Ю'2х 1изм + 0,2 нА) | |
|
± 10 мкА |
0,01 нА |
± (0,05 х 10’2х 1изм+ 2 нА) | |
|
± 100 мкА |
0,1 нА |
± (0,05 х 10'2х 1изм + 20 нА) | |
|
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,04 х 10'2х1изм + 0,2 мкА) | |
|
± 10 мА |
0,01 мкА |
± (0,04 х 10’2х 1изм + 2 мкА) | |
|
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,1 х 10'2х 1изм + 20 мкА) |
Примечание - 1изм. - измеренное значение силы постоянного тока.
Таблица 5 - Основные метрологические характеристики модулей в режиме воспроизведения силы постоянного тока
|
Модуль |
Пределы воспроизведения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения |
|
MPSMU |
± 1 нА |
0,1 пА |
± (0,5 х 10'2х 1воспр + 3 пА) |
|
± 10 нА |
1 пА |
± (0,5 х 10'2х1воспр + 7 пА) | |
|
± 100 нА |
10 пА |
± (0,12 х Ю’2х 1ВОспр.+ 50 пА) | |
|
± 1 мкА |
0,1 нА |
± (0,12 х 10'2х 1ВОСПр.+ 0,4 нА) | |
|
± 10 мкА |
1 нА |
± (0,12 х 10'2х 1ВОспр + 5 нА) | |
|
±100 мкА |
10 нА |
± (0,12 х 10*2х 1В0СПр.+ 40 нА) | |
|
± 1 мА |
0,1 мкА |
± (0,12 х 10'2х1воспр + 0,5 мкА) | |
|
± 10 мА |
1 мкА |
± (0,12 х 10’2х 1В0СПр.+ 4 мкА) | |
|
± 100 мА |
10 мкА |
± (0,12 х 10’2х 1ВОспр.+ 50 мкА) | |
|
HRSMU |
± 10 пА |
0,001 пА |
± (4 х 10'2х 1В0Спр.+ ОД пА) |
|
± 100 пА |
0,001 пА |
± (4 х 10‘2xIBOcnp + 0,4 пА) | |
|
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10’2х 1воспр.+ 0,7 пА) | |
|
± 10 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10’2х1воспр + 4 пА) | |
|
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,12 х Ю’2х 1В0Спр.+ 40 пА) | |
|
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,12 х 10'2х 1воспр.+ 0,4 нА) | |
|
± 10 мкА |
0,01 нА |
± (0,07 х 10'4х 1ВОСПр.+ 4 нА) | |
|
± 100 мкА |
0,1 нА |
± (0,07 х Ю’2х 1В0СПр.+ 40 нА) | |
|
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,06 х 10'2х1воспр + 0,4 мкА) | |
|
± 10 мА |
0,01 мкА |
± (0,06 х Ю'2х 1ВОСпр.+ 4 мкА) | |
|
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,12 х 10’2х 1В0Спр.+ 40 мкА) |
Примечание - 1ВОспр. - воспроизведенное значение силы постоянного тока.
Общие технические характеристики:
напряжение сети питания переменного тока, В................................................................. 90 - 264
частота сети питания, Гц........................................................................................................47-63
потребляемая мощность, В-А, не более...............................................................................47-63
габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм
масса, кг, не более:
-
- измерителя 4155С/4156С .................
-
- блока расширения 41501В ...............
-
- блока коммутации Е5250А..............
-
- блока коммутации В2200А/В2201А
Условия эксплуатации:
рабочая температура, °C............................
относительная влажность, % ....................
Условия хранения:
температура хранения, °C .........................
относительная влажность, % ....................
........................................................21
........................................................ 16
..................................................... 11,2
........................................................ 14
......................от плюс 10 до плюс 40
от 20 до 80 (без конденсации влаги)
.....................от минус 20 до плюс 60
. от 5 до 90 (без конденсации влаги)