Номер по Госреестру СИ: 91190-24
91190-24 Вакуумметр мембранно-емкостной
(MKS)
Назначение средства измерений:
Вакуумметр мембранно-емкостной MKS (далее - вакуумметр) предназначен для измерений абсолютного давления газов.
Внешний вид.
Вакуумметр мембранно-емкостной
Рисунок № 1
Внешний вид.
Вакуумметр мембранно-емкостной
Рисунок № 2
Внешний вид.
Вакуумметр мембранно-емкостной
Рисунок № 3
Внешний вид.
Вакуумметр мембранно-емкостной
Рисунок № 4
Внешний вид.
Вакуумметр мембранно-емкостной
Рисунок № 5
Внешний вид.
Вакуумметр мембранно-емкостной
Рисунок № 6
Общие сведения
Дата публикации - 30.01.2024
Срок свидетельства -
Номер записи - 193065
ID в реестре СИ - 1414024
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - MKS Instruments, Inc.
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
После предварительного распознавания графических файлов с описаниями типов СО появилась возможность осуществлять полноценный поиск по их содержимому.
Для осуществления поиска необходимо ввести искомое слово или словосочетание (от 5 символов) и нажать кнопку "Поиск в БД".
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1053 от 2021.06.18 Об утверждении типов средств измерений
№243 от 2024.01.29 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
Наличие аналогов СИ: Вакуумметр мембранно-емкостной (MKS)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
График "У кого сколько эталонов (СИ)" имеет несколько уровней вложенности. На первом уровне доступна информация об организациях-владельцах эталонов и количестве эталонов, находящихся у них на балансе. На втором уровне можно посмотреть состав эталонной базы в разрезе видов измерений.
Графики "Возраст парка эталонов" представляют информацию по возрасту (дате производства) и количеству СИ, применяемых в качестве эталонов. Для удобства визуального восприятия временная шкала разбита на 2 интервала (до 1992 года и от 1992 года до н.в.).
На графике "Распределение эталонов по видам измерений" приводится столбчатая диаграмма распределения эталонов по видам измерений. Наименования видов измерений присваивались в зависимости от ГЭП к которому прослеживается каждое конкретное СИ, применяемое в качестве эталона.
"Прослеживаемость к первичным эталонам" служит для оценки измерительных возможностей организаций-владельцев эталонов. По оси OX откладывается информация о количестве эталонов в организации, а по оси OY - кол-во первичных эталонов к которым прослеживаются эталоны организации.
В конце отчета приводится сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации.
Кто поверяет Вакуумметр мембранно-емкостной (MKS)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА" (RA.RU.311541) | РСТ | 2 | 2 | 1 | 1 | 0 | 2 | 1 | 1 |
Стоимость поверки Вакуумметр мембранно-емкостной (MKS)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист паспорта вакуумметра.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в разделе 4 «Эксплуатация» «Датчики давления мембранно-емкостные Baratron модели 622D/623H/626D. Руководство по эксплуатации», главе 3 «Эксплуатация» «Контроллер с двумя мембранно-емкостными датчиками производства MKS модель PDR 2000. Руководство по эксплуатации»
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления
в диапазоне 1-10"1 - 1407 Па, утвержденная приказом Росстандарта от 6 декабря 2019 г. № 2900.
Правообладатель
MKS Instruments, Inc., США
Адрес: Six Shattuck Road Andover, MA 01810 United States Телефон: 978-645-5500
Web-сайт: www.mks.com
Изготовитель
MKS Instruments, Inc., СШААдрес: Six Shattuck Road Andover, MA 01810 United States
Телефон: 978-645-5500
Web-сайт: www.mks.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева» (ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»)Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр-кт, д. 19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14.
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Правообладатель
MKS Instruments, Inc., США
Адрес: Six Shattuck Road Andover, MA 01810 United States Телефон: 978-645-5500
Web-сайт: www.mks.com
К данному типу средства измерений относится вакуумметр мембранно-емкостной MKS зав. № 01.
Конструктивно вакуумметр состоит из датчиков мембранно-емкостных Baratron 622D11ТАЕ № 112293738, Baratron 622D12ТАЕ № 112150938 и контроллера PDR-2000 № 111898251, предназначенного для преобразования аналогового выходного сигнала датчиков в измеренное значение абсолютного давления.
Принцип действия вакуумметра основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.
На корпусе датчиков мембранно-емкостных 622D11TAE и Baratron 622D12TAE (далее - датчик) размещена трубка нагнетательного штуцера, подсоединенная к измерительной камере в корпусе датчика вакуумметра. Одна из стенок измерительной камеры представляет собой эластичную металлическую мембрану. Передняя сторона мембраны подвергается воздействию измеряемого давления, обратная сторона мембраны направлена в сторону жестко смонтированного керамического диска, содержащего два электрода. Мембрана изгибается при изменении абсолютного давления вне зависимости от типа газа или состава измеряемого газа. Изгиб мембраны приводит к нарушению баланса емкости электродов. Дисбаланс емкости электродов преобразуется в напряжение постоянного тока, формируемое в аналоговый выходной сигнал датчика вакуумметра. Результат измерений абсолютного давления в единице величины давления отображается на дисплее контроллера PDR-2000 (далее - контроллер). Датчики отличаются диапазоном измерений абсолютного давления.
Пломбировка корпуса вакуумметра не предусмотрена.
Заводской номер вакуумметра наносится в формате цифровой печати в паспорте вакуумметра. Идентификационный номер датчика наносится на корпус датчика методом наклейки в формате цифрового обозначения. Идентификационный номер контроллера наносится на корпус контроллера методом наклейки в формате цифрового обозначения.
Нанесение знака поверки на корпус вакуумметра не предусмотрено.
Общий вид датчика представлен на рисунке 1. Общий вид контроллера представлен на рисунке 2. Место нанесения идентификационного номера на датчик представлено на рисунке 3. Место нанесения идентификационного номера на контроллер представлено на рисунке 4.
Рисунок 1 - Общий вид датчика мембранно-емкостного Baratron 622D
Рисунок 2 - Общий вид контроллера PDR-2000
Рисунок 3 - Место нанесения идентификационного номера на датчик мембранно-емкостной Baratron 622D
Место нанесения идентификационного номера
Рисунок 4 - Место нанесения серийного номера контроллер PDR-2000
Программное обеспечение
Вакуумметр имеет встроенное программное обеспечение (далее - ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметра. ПО выполняет следующие функции:
-
- выбор единицы измерений давления;
-
- прием, обработка и отображение измерительной информации.
Метрологически значимым является встроенное ПО вакуумметра, влияние метрологически значимого ПО учтено при нормировании метрологических характеристик вакуумметра.
Идентификационные данные ПО представлены в Таблице 1.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «низкий» в соответствии с Рекомендацией Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
MKS |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.5 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Кол-во |
|
Вакуумметр мембранно-емкостной MKS в составе: |
- |
1 шт. |
|
- датчик мембранно-емкостной 622D11TAE |
- |
1 шт. |
|
- датчик мембранно-емкостной 622D12TAE |
- |
1 шт. |
|
- контроллер PDR-2000 |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации на датчики |
- |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации на контроллер |
- |
1 экз. |
|
Паспорт |
- |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Baratron 622D11ТАЕ |
Baratron 622D12ТАЕ | |
|
Диапазон измерений абсолютного давления, Па (Торр) |
от 133 до 1333 (от 1 до 10) |
от 1333 до 13332 (от 10 до 100) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений абсолютного давления, Па |
± (5,5 + 5,5^10-4-p) | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений абсолютного давления, Торр |
± (0,041+5,5^10"4^p) | |
|
Примечания:
| ||
Таблица 3 - Основные технические характеристики вакуумметра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: | |
|
- напряжение постоянного тока датчика, В |
от 14,3 до 15,7 |
|
- напряжение переменного тока контроллера, В |
от 90 до 265 |
|
- частота переменного тока контроллера, Гц |
от 47 до 65 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: | |
|
- датчика (высота х диаметр) |
130x65 |
|
- контроллера (высота х ширина х глубина) |
50х100х170 |
|
Масса, кг, не более: | |
|
- датчика |
0,28 |
|
- контроллера |
0,4 |
|
Срок службы, лет |
10 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающей среды, °С |
от +15 до +35 |
|
- относительная влажность, %, не более |
80 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 |