Номер по Госреестру СИ: 87161-22
87161-22 Микроскопы конфокальные лазерные измерительные
(LEXT OLS5100)
Назначение средства измерений:
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
Внешний вид.
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные
Рисунок № 3
Внешний вид.
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные
Рисунок № 4
Общие сведения
Дата публикации - 26.10.2022
Срок свидетельства - 21.10.2027
Номер записи - 189220
ID в реестре СИ - 1403460
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS5100-SAF, Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS5100-EAF, Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS5100,
Производитель
Изготовитель - Фирма OLYMPUS Corporation
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
В представленном отчете задача подсчета объема пака СИ сводится к вычислению количества записей в реестре поверок ФГИС АРШИН с уникальным сочетанием заводского номера СИ и типа СИ в периоде 12 лет, начиная с 2010г. Мы предполагаем, что сочетание серийного номера СИ и типа СИ является уникальным для каждого конкретного образца СИ и будет повторяться исключительно при периодических и внеочередных поверках.
На графике столбчатая диаграмма показывает количество новых СИ, зафиксированных за каждый рассматриваемый год, а график, отображенный в виде линии показывает накопленный объем (коммуляту), т.е. объем парка СИ. График имеет возможность масштабирования и экспорта данных в Exсel.
Статистика
Кол-во поверок - 12
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2665 от 2022.10.21 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы конфокальные лазерные измерительные (LEXT OLS5100)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет представляет собой таблицу с перечнем эталонов организаций, применяемых при поверке торговых весов. По каждому эталону приведена статистика поверок СИ по годам. В качестве эталона могут выступать ГЭТ, эталоны единиц величин или СИ, используемые в качестве эталонов.
Кто поверяет Микроскопы конфокальные лазерные измерительные (LEXT OLS5100)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 12 | 2 | 11 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы конфокальные лазерные измерительные (LEXT OLS5100)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «OLYMPUS OLS5100». ПО «OLYMPUS OLS5100» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «OLYMPUS OLS5100» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
OLYMPUS OLS5100 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО (Acquisition) |
2.1.1.7986 или выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе «Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100. Руководство по эксплуатации», разделы 6 («Простое измерение»), 7 («Измерение профиля»).
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам конфокальным лазерным измерительнымТехническая документация фирмы-изготовителя OLYMPUS Corporation, Япония.
ПравообладательФирма OLYMPUS Corporation, Япония.
Адрес: Shinjuku Monolith, 2-3-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-0914, Japan. Тел./Факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795.
E-mail: info@olympus-global.com
Изготовитель
Фирма OLYMPUS Corporation, Япония.Адрес: Shinjuku Monolith, 2-3-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-0914, Japan. Тел./Факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795.
E-mail: info@olympus-global.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)ИНН 7728309630
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1 Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма OLYMPUS Corporation, Япония.Адрес: Shinjuku Monolith, 2-3-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-0914, Japan. Тел./Факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795.
E-mail: info@olympus-global.com
Принцип действия микроскопов основан на использовании диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.
Конструкция микроскопов основана на использовании методов оптической микроскопии и оптической профилометрии, где в качестве источника оптического излучения используется лазер. Результатом измерений является получение информации о линейных размерах как в плоскости XY, так и по оси Z.
В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.
В микроскопе использован сканер новой конструкции, который обладает пониженной дисторсией и минимальными оптическими абберациями. Для отклонения по оси Х используется МЭМС - сканер с электромагнитным приводом, а по оси Y - гальваносканер. Для удобства работы в микроскопе реализована двухканальная система конфокальной оптики с двумя различными конфокальными диафрагмами. Выбор диафрагмы осуществляется автоматически в зависимости от типа объектива и режима получения изображения.
Микроскоп включает две оптические системы:
-
- лазерную конфокальную оптическую систему, использующую лазерный диод с длиной волны 405 нм и высокочувствительный фотоумножитель,
-
- оптическую систему цветного изображения с белым светодиодом и CMOS матрицей.
Конструктивно микроскоп состоит из основного блока, выполненного в настольном исполнении, блока электроники и персонального компьютера с предустановленным программным обеспечением для управления работой микроскопа. Основной блок включает столик образцов, перемещаемый по осям X, Y ручным приводом или автоматически в зависимости от модели микроскопа, и измерительную оптическую головку с набором объективов, перемещение которой по оси Z контролируется измерительной системой микроскопа.
Микроскопы выпускают в модификациях OLS5100-SAF, OLS5100-SMF, OLS5100-EAF, OLS5100-HSU, которые отличаются приводом столика образцов и диапазоном его перемещения, а также максимальной высотой исследуемого объекта.
Пломбирование микроскопов не предусмотрено. Заводской номер в буквенночисловом формате нанесен на шильдик типографским способом на задней панели основного блока. Общий вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 - 3.
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модификаций OLS5100-SAF, OLS5100-SMF
Место нанесения знака поверки
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 2 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модифика-
ций OLS5100-EAF
Место нанесения знака поверки
Место нанесения знака утверждения типа
Место нанесения знака поверки
Рисунок 3 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модификаций OLS5100-HSU
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм - объектив 10х |
от 30 до 1200 |
|
- объектив 20х |
от 15 до 600 |
|
- объектив 50х |
от 5 до 250 |
|
- объектив 100х |
от 2 до 120 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, % |
±1,5 |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм, не более - объектив 20х |
0,05 |
|
- объектив 50х |
0,04 |
|
- объектив 100х |
0,02 |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм |
от 30 до 100000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мм) - объектив 10х |
±(24+L/4) |
|
- объектив 20х |
±(15+L/4) |
|
- объектив 50х |
±(9+L/4) |
|
- объектив 100х |
±(7+L/4) |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 9500 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) |
±(0,15+L/100) |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм, не более
|
0,03 0,012 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм |
от 0 до 9500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мкм)
|
±(5,0+L/100) ±(1,0+L/100) |
|
Диапазон измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra - Rz |
от 0,005 до 50 от 0,01 до 100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости, мкм, по параметру
(где Ra, Rz - параметры шероховатости, мкм) |
±(0,003+0,04-Ra) ±(0,006+0,04-Rz) |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||
|
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100- EAF |
OLS5100-HSU | |
|
Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
1 | |||
|
Разрешение по оси Z, нм, не более |
0, | |||
|
Диапазон перемещения столика образцов, мм |
100х100 |
100х100 |
100х100 |
300х300 |
|
Привод столика |
моторизо- |
ручной |
моторизо- |
моторизо- |
|
образцов |
ванный |
ванный |
ванный | |
|
Максимальная высота образцов, мм |
100 |
40 |
210 |
100 |
|
Масса, кг, не более - основной блок; |
31 |
32 |
43 |
80 |
|
-блок электроники |
12 |
12 |
12 |
12 |
|
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более: - основной блок |
561х387х608 |
780х520х680 | ||
|
- блок электроники |
180х360х380 |
180х360х380 | ||
|
Условия эксплуатации: - температура окружа- | ||||
|
ющей среды, °С |
от +18 до +22 | |||
|
-относительная влаж- | ||||
|
ность воздуха, %, не | ||||
|
более |
80 | |||
|
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||
|
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100- EAF |
OLS5100-HSU | |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 220 до 240 | |||
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
280 | |||