Номер по Госреестру СИ: 84445-22
84445-22 Микроскопы сканирующие зондовые
(NTEGRA)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 3
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 4
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 5
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 6
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 7
Общие сведения
Дата публикации - 25.01.2022
Срок свидетельства - 24.01.2027
Номер записи - 185852
ID в реестре СИ - 1396136
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
SPECTRA, PRIMA, NTEGRA PRIMA,
Производитель
Изготовитель - ООО "НТ-МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№161 от 2022.01.24 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (17)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие зондовые (NTEGRA)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ООО "НТ-МДТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
76902-19 10.12.2024 |
Микроскопы сканирующие зондовые, VEGA (ВЕГА) ООО "НТ-МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
84445-22 24.01.2027 |
Микроскопы сканирующие зондовые, NTEGRA ООО "НТ-МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет позволяет оценить частоту использования эталонов в РФ.
Период исследований: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
Отчет будет особенно полезен при осуществлении надзорной деятельности.
Входными фильтрами являются: минимальное количество поверок в год, год исследования (с функцией множественного выбора) и вид эталона(с функцией множественного выбора).
В отчете присутствуют перекрестные ссылки на иные отчеты.
Кто поверяет Микроскопы сканирующие зондовые (NTEGRA)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 3 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие зондовые (NTEGRA)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение «NOVA SPM» является специализированным ПО СЗМ и предназначено для их управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «NOVA SPM» не может быть использовано отдельно от СЗМ.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО СЗМ и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
NOVA SPM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в части № 3 «Атомно-силовая микроскопия» руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим зондовым NTEGRAТУ 26.51.61-001- 40474771-2021 «Микроскопы сканирующие зондовые серии
NTEGRA. Технические условия»
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «НТ-МДТ» (ООО «НТ-МДТ») ИНН 7735184244Адрес: 1244890, г. Москва, г. Зеленоград, Сосновая аллея, д. 10, стр. 1, к. 41 E-mail: info@ntmdt.nl
Тел./факс: +7 (499) 390-66-78.
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы»Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru
СЗМ работают в режиме атомно-силового микроскопа (ACM). Принцип действия в СЗМ реализуется посредством детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поддерживая с помощью системы обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности, по которому можно определить линейные размеры измеряемых элементов.
В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, представляющий собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы.
СЗМ состоят из следующих основных элементов: СЗМ-контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Базовый блок представляет собой отдельно стоящую установку, которая обеспечивает защиту от воздействий окружающей среды: защиту от виброакустических воздействий, от изменений температуры и влажности. В базовом блоке расположен держатель образца, который обеспечивает его перемещение в заданном диапазоне и устройство, которое производит сканирование исследуемого объекта. СЗМ-контроллер предназначен для управления базовым блоком и обработки сигналов, полученных в результате проводимых измерений исследуемого образца. Персональный компьютер требуется для обеспечения управления пользователем данным программно-аппаратным комплексом и анализом результатов измерений.
Конструктивно СЗМ выполнены в виде отдельно стоящего базового блока с отдельно устанавливаемым компьютером. Дополнительно микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA могут работать в режимах: сканирующиго туннельного микроскопа и ближнепольного оптического микроскопа.
СЗМ выпускаются в семи модификациях, отличающихся реализацией дополнительных возможностей:
-
1. NTEGRA PRIMA (Интегра Прима) базовая конфигурация микроскопа, имеющая в составе измерительные головки для атомно-силовой и сканирующей туннельной микроскопии;
-
2. NTEGRA SOLARIS (Интегра Солярис) позволяет дополнительно реализовать сканирующую ближнепольную оптическую микроскопию, с использованием апертурных кантилеверов;
-
3. NTEGRA AURA (Интегра Аура) позволяет дополнительно реализовать работу в вакууме и внешних магнитных полях;
-
4. NTEGRA ACADEMIA (Интегра Академия) позволяет дополнительно работать с вольфрамовой проволокой в режиме АСМ.
-
5. NTEGRA SNOM (Интегра СБОМ) позволяет дополнительно реализовать сканирующую ближнепольную оптическую микроскопию, с использованием оптоволоконных датчиков.
-
6. NTEGRA MAXIMUS (Интегра Максимус) позволяет проводить дополнительные исследования больших образцов, в том числе полупроводниковых пластин.
-
7. NTEGRA SPECTRA (Интегра Спектра) позволяет одновременно реализовывать АСМ и оптические методики (конфокальную микроскопию/спектроскопию комбинационного рассеяния (Раман), зондово-усиленную Рамановскую / флуоресцентную микроскопию/спектроскопию (TERS, TEFS, TERFS).
Заводские номера наносятся на заднюю часть корпуса микроскопов в виде этикетки (шильдика) и имеют цифровое обозначение. Пломбирование микроскопов сканирующих зондовых NTEGRA от несанкционированного доступа не предусмотрено.
б)
е)
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов сканирующих зондовых NTEGRA
а) NTEGRA PRIMA; б) NTEGRA SOLARIS; в) NTEGRA AURA; г) NTEGRA ACADEMIA;
д) NTEGRA SNOM; е) NTEGRA MAXIMUS; ж) NTEGRA SPECTRA.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,01 до 100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм* |
± (3+0,01-L), где L - измеряемое значение длины в нм |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,01 до 5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
± (4+0,05-L), |
|
измерений линейных размеров по оси сканирования Z, нм* |
где L - измеряемое значение длины в нм |
Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.
Таблица 3 - Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,0001 до 0,01 |
|
Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи не более, нм |
0,3 |
|
Разрешение по оси Z не более, нм |
0,1 |
|
Максимальное число точек сканирования по X и Y |
8000 х 8000 |
|
Размеры исследуемых образцов (длина х ширина х толщина), не более, мм |
100 х 100 х 15 |
|
Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, не менее, мм |
5 х 5 |
|
Потребляемая мощность (без дополнительных плат) , не более, Вт |
80 |
|
Габаритные размеры СЗМ контроллера, не более, мм (длина х ширина х высота) |
500 х 445 х 270 |
|
Габаритные размеры базового блока, не более, мм (длина х ширина х высота) |
400 х 250 х 600 |
|
Масса СЗМ контроллера, не более, кг |
12 |
|
Масса базового блока, не более, кг |
15 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации
|
Температура окружающей среды, °C |
от +15 до +25 |
|
Относительная влажность воздуха, не более, % |
до 80% |
|
Напряжение переменного тока, В |
от 95 до 121 или от 187 до 242 |
|
Частота, Гц |
50/60 |