Номер по Госреестру СИ: 84128-21
84128-21 Установка
(MicroProf 200 TTV)
Назначение средства измерений:
Установка MicroProf 200 TTV (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Внешний вид.
Установка
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 23.12.2021
Срок свидетельства -
Номер записи - 185517
ID в реестре СИ - 1395326
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
-,
Производитель
Изготовитель - FRT GmbH
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2941 от 2021.12.20 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (12)
Наличие аналогов СИ: Установка (MicroProf 200 TTV)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет позволяет вывести информацию о всех поверках, выполненных с применением СИ, используемых в качестве эталонов.
На первом этапе работы отчета по поисковой фразе ищется один или несколько эталонов. Длина поисковой фразы должна быть не менее 5 символов. Поиск осуществляется по номеру эталона, поверителю, владельцу, номеру типа СИ, названию и наименованию типа, номеру ГЭТ. Далее, щелкнув по колонке [количество поверок] можно перейти к списку поверок, выполненных с применением выбраненного эталона.
Ввиду добавления поиска по владельцу эталона существенно упала скорость, но была получена возможность отслеживать собственника СИ-эталона, даже при последующей маскировке сладельца за фразой юр или аналогичной.
Кто поверяет Установка (MicroProf 200 TTV)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 1 | 1 | 0 | 0 | 1 | 1 | 0 |
Стоимость поверки Установка (MicroProf 200 TTV)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Установка имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), с помощью которого осуществляется управление работой установки и сбор данных.
Идентификационные данные ПО измерителя приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Acquire |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
5.1.2.0 и выше |
При работе с установкой пользователь не имеет возможности влиять на процесс расчета и не может изменять полученные в ходе измерений данные.
Защита программного обеспечения установки соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измеренияТаблица 3 -
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийпункт 3 руководства по эксплуатации
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке MicroProf 200 TTVТехническая документация изготовителя
Изготовитель
FRT GmbH, ГерманияАдрес: Friedrich Ebert Strasse, 54129 Bergisch Gladbach, Германия
Телефон: +49 2204 84 2430
Web-сайт: www.frtmetrology.com
E-mail:info@frt-gmbh.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)ИНН 7736042404
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
Web-сайт: www.vniims.ru
E-mail: office@vniims.ru
Принцип действия установки основан на хроматической аберрации оптических линз. Образец освещается сфокусированным лучом белого света. Пассивная линза с большой хроматической аберрацией рассеивает луч белого свет вертикально в различные цветовые фокусные точки и, соответственно, высоты. Сфокусированный луч света отражается от поверхности измеряемого объекта и попадает в миниатюрный спектрометр через ту же линзу и стекловолоконный кабель. Длина волны отраженного луча света зависит от расстояния между датчиком и измеряемым объектом.
Установка состоит из измерительного датчика, прецизионного стола с встроенными калибровочными образцами с номинальными значениями толщины 500 и 700 мкм, гранитного демпфирующего основания и управляющего компьютера с TFT-монитором.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Установка данного типа имеет зав. № MPR1465, нанесенный на наклейке, расположенной на задней части корпуса.
Рисунок 1 - Общий вид установки MicroProf 200 TTV
Таблица 1 - Основные метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины, мкм |
от 150 до 1500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм |
±(0,5+0,005-L), где L, мкм |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний прогиба и коробления |
от 0 до 200 |
|
пластины, мкм | |
|
Диаметр контролируемой пластины, мм |
от 76,2 до 200 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение, В |
от 198 до 242 |
|
- частота, Гц |
50 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: | |
|
- длина |
1100 |
|
- ширина |
820 |
|
- высота |
1800 |
|
Масса, кг, не более |
500 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды °С |
от +15 до +25 |