Номер по Госреестру СИ: 82668-21
82668-21 Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов
(ВИК-УЭС)
Назначение средства измерений:
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС (далее - измерители ВИК-УЭС) предназначены для измерений удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Внешний вид.
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 25.08.2021
Срок свидетельства - 13.08.2026
Номер записи - 183884
ID в реестре СИ - 1392234
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
нет, ВИК-УЭС,
Производитель
Изготовитель - Общество с ограниченной ответственностью "Разработка и изготовление измерительных систем" (ООО "РИИС")
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г. Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Цель отчета предоставить детальную информацию относительно парка средств измерений, выбранной организации. Качество отчета напрямую зависит от качества заполнения поля Владелец СИ при поверке. По этой причине, в выпадающем списке выбора организаций возможно появление нескольких наименований одной и той же организации, а в результатах работы отчета отсутствие ряда позиций по СИ (поле владельца не заполнялось или заполнялось по-разному).
В отчете представлена следующая информация по парку СИ организации:
- наименование СИ (номер в АРШИНЕ, модификация, обозначение типа, ссылка на АРШИН)
- наименование организации-производителя и страны производства
- год производства и заводской номер
- наименование организации, проводившей поверку
- дата последней поверки и срок окончания поверки
- величина интервала между поверками в днях и годах
- кол-во поверок данного СИ, зарегистрированных в АРШИНе
Статистика
Кол-во поверок - 14
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 4
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов (ВИК-УЭС)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Общество с ограниченной ответственностью "Разработка и изготовление измерительных систем" (ООО "РИИС")
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
82668-21 13.08.2026 |
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов, ВИК-УЭС Общество с ограниченной ответственностью "Разработка и изготовление измерительных систем" (ООО "РИИС") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет позволяет вывести информацию о всех поверках, выполненных с применением аттестованных эталонов единиц величин.
На первом этапе работы отчета по поисковой фразе ищется один или несколько эталонов. Длина поисковой фразы должна быть не менее 5 символов. Поиск осуществляется по номеру эталона, названию, владельцу или номеру ГЭТ. Далее, щелкнув по колонке [количество поверок] можно перейти к списку поверок, выполненных с применением выбраненного эталона.
Кто поверяет Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов (ВИК-УЭС)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ (RA.RU.311473) | РСТ | 14 | 2 | 12 | 2 | 0 | 1 | 1 | 0 |
Стоимость поверки Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов (ВИК-УЭС)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Измерители ВИК-УЭС оснащаются встроенным программным обеспечением.
ПО измерителей ВИК - УЭС позволяет проводить:
-
- автоматическую проверку работоспособности и настройку электрической части измерителей ВИК-УЭС;
-
- обработку результатов измерений УЭС образцов с учетом поправок на толщину и диаметр измеряемой пластины, а также на температуру измерения (поправки на температуру введены в ПО для монокристаллического кремния, при измерении других материалов результаты измерений УЭС будут относиться к температуре измерения);
-
- сбор результатов измерений УЭС для накопления статистической информации.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения измерителей ВИК-УЭС приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения (ПО)
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
ПО измерителя удельного электросопротивления ВИК УЭС |
|
Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО |
rometr.exe |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.122 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
|
Идентификационное наименование модуля получения и обработки данных |
C:\rometr\rodrv. dll |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.122 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик измерителей ВИК-УЭС.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист «Паспорта» и «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в п.2.3 Руководства по эксплуатации РЭ26.51.45-001-0774784-2020
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к измерителю ВИК-УЭСПриказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 140'9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ТУ26.51.45-001-80774784-2020 «Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС. Технические условия»
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Разработка и изготовление измерительных систем (ООО «РИИС»)Юридический адрес Изготовителя: Москва, ул. Крымский вал, д.3, корп.1, оф. 507. Почтовый адрес Изготовителя: 119049, г. Москва, ул. Крымский вал, д.3, корп.1. Телефон: +7 (495) 955 01 50 р/сч 40702810810000177624 корр/сч 30101810145250000974
БИК 044525974, ИНН 7706655241, КПП 770601001,
ОГРН 5077746675529, Код ОКПО 80774784
Испытательный центр
Уральский научно-исследовательский институт метрологии - филиал Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» (УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева») Адрес: 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4.Телефон: (343) 350-26-18, факс: (343) 350-20-39.
E-mail: uniim@uniim.ru
Принцип действия измерителей ВИК-УЭС основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки (устройства зондового), установленной на поверхности образца полупроводникового материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности.
Удельное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью ПО, исходя из измеренных значений силы тока, напряжения и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом поправочных коэффициентов на температуру и геометрические размеры исследуемого образца (диаметр и толщина). Для расчетов УЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.
Конструктивно измерители ВИК-УЭС состоят из:
-
- электронного блока;
-
- системного блока ПК с встроенным программным обеспечением (ПО);
-
- манипулятора с четырехзондовой измерительной головкой (устройства зондового).
Электронный блок измерителей ВИК-УЭС обеспечивает автоматический выбор величины силы тока в зависимости от номинала измеряемого сопротивления.
Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,3 мм.
Общий вид измерителей ВИК-УЭС представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид измерителей ВИК-УЭС
Пломбирование измерителей ВИК-УЭС не предусмотрено.
Металлический шильдик с указанием заводского номера крепится к задней стенке электронного блока.
Знак поверки наносится на заднюю стенку электронного блока.
Таблица 4 - Комплектность
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Измеритель удельного электрического сопро- |
ВИК-УЭС | |
|
тивления полупроводниковых материалов: | ||
|
- электронный блок |
- |
1 шт. |
|
- системный блок ПК |
- |
1 шт. |
|
- манипулятор |
- |
1 шт. |
|
Паспорт |
ПС26.51.45-001-80774784-2020 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
РЭ26.51.45-001-80774784-2020 |
1 экз. |
|
Руководство пользователя ПО |
РЭ.ПО.26.51.45-001-80774784-2020 |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 14-223-2021 |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений удельного электрического сопротивления, Ом^см |
от 0,01 до 85 000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УЭС, % |
±5 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемого относительного отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,3 мм), % |
±1 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
6 |
|
Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10000 |
|
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более: - электронный блок |
150х300х600 |
|
- системный блок ПК |
400х500х200 |
|
- манипулятор |
400х200х200 |
|
Масса, кг, не более: - электронный блок |
3 |
|
- системный блок ПК |
5 |
|
- манипулятор |
5 |
Окончание таблицы 3
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: | |
|
- напряжение сетевого питания, В |
220 ±22 |
|
- частота питающей сети, Гц |
50±1 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающего воздуха °С |
23±5 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |