Номер в гос. реестре

53938-13

Наименование типа СИ (обозначение)

Микроскопы сканирующие электронные (TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA)

Назначение средства измерений

Модификация

cерии MIRA

Описание типа

2018-53938-13.pdf

Тип производства

Заводской номер

116-0027

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

Фирма "TESCAN, a.s."
Страна - ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА

Характеристики приборов

VEGA

TIMA

INDUSEM

MIRA

LYRA

FERA

VELA

Диапазон измерений

От 300 нм

От 300 нм

От 300 нм

От 300 нм

От 300 нм

От 300 нм

От 300 нм

линейных размеров

до 10 мм

до 10 мм

до 10 мм

до 10 мм

до 10 мм

до 10 мм

до 10 мм

Пределы допускаемой

относительной

± 3

± 3

± 3

± 3

± 3

± 3

± 3

погрешности измерений, %

Разрешение, нм

3,0

1,2; 3,0

3,0

1,2

1,2

1,2

3,0

Давление в камере, Па, не более

1Х10^-2

1 X 10^-2

1 X 10 ²

1 X 10^-2

1 X 10^-2

1 X10^-2

1 X 10^-2

Увеличение, крат

От 2 до 1000 000 вкл

От 2 до 1000 000 вкл

От 1 до 1000 000 вкл

От 2 до 1000 000 вкл

От 1 до

1000000 вкл

От 1 до 1000 000 вкл

От 1 до 1000 000 вкл

Диапазон рабочих температур,⁰С

От 17 до 23

От 17 до 23

От 17 до 23

От 17 до 23

От 17 до 23

От 17 до 23

От 17 до 23

Относительная влажность, %, не более, без конденсата

80

80

80

80

80

80

80

Габаритные размеры, не более, мм:

-длина,

2360

2360

2360

2360

3000

3000

3000

-ширина,

1030

1030

1030

1175

1330

1330

1330

-высота

2000

2000

2000

2000

2000

2000

2000

Питающее напряжение, В

230±10 %

230± 10 %

230 ±10 %

230± 10%

230 ± 10%

230±10%

230±10 %

Частота, Гц

50

50

50

50

50

50

50

Потребляемая мощность, В-А, не более

1300

1500; 2400

1300

2200

2300

2300

2300